MKS臭氧發生器AX8415、AX8410和AX8400區別

MKS臭氧發生器AX8415、AX8410和AX8400區別

ALD和ALE工藝是要求臭氧技術持續進步的主要應用。如上所述,同時滿足應用流程和濃度要求以及OEM的系統設計要求是臭氧發生器和系統技術開發的驅動力。MKS的臭氧發生器和集成系統產品組合在推進臭氧技術以滿足這些要求方面有著悠久的歷史。所有MKS臭氧發生器均采用介質阻擋放電法生產臭氧。隨著時間的推移,放電池結構的進步提高了臭氧濃度,同時擴大了臭氧生產的范圍,并確保其先進性。

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圖1顯示了MKS臭氧發生器技術基于臭氧產量的進步穩步增加。例如,MKS Instruments AX8400系列臭氧發生器是一種高度可配置的發生器,可滿足高達250克/小時的要求。MKS的AX8415和AX8410發電機的目標應用是在緊湊的外形中要求高濃度和高流動狀態。AX8415和AX8410旨在生產超清潔、高濃度的臭氧。MKS在AX8415和AX8410型號中引入的臭氧電池設計能夠支持濃度高達425 g/Nm3(27.1 wt%)的臭氧輸送,流速高達80 slm。

客戶需要不斷優化其安裝基座的壽命,因此,更新的發電機設計可以方便地與AX8415發電機集成,這是MKS設計的臭氧系統中SEMOZON?AX8407發電機的直接替代品。MKS Instruments設計的產品滿足設備制造商的臭氧輸送應用要求,提供完全集成的臭氧輸送系統,包括單個或多個發生器,具有集成的臭氧監測和安全裝置以及可選的臭氧銷毀裝置。這些系統是使用專有和適應性材料設計的,以滿足半導體環境和質量標準。例如,氧化膜工藝可能需要三個或四個獨立發生器的臭氧系統配置,以5至10slm將250g/Nm3的臭氧輸送到三室或四室ALD工具。

另一個例子是25至50片的垂直間歇式反應器,其可能需要180至200g/Nm3的70至100slm的臭氧。用于批量ALD應用的臭氧系統需要具有單個輸出或一個通道的多發生器臭氧系統的支持。系統中的每個額外的發生器都擴展了給定濃度的流量范圍。例如,單個AX8415發生器在15slm下產生300g/Nm3的臭氧濃度。另一臺發電機的加入使系統的輸出在30slm時提高到300g/Nm3。因此,四發生器單通道系統能夠在60 slm下達到300 g/Nm3。通過增加發電機,臭氧濃度保持不變;然而,產生的臭氧總量顯著增加。MKS為所有生產ALP設備的原始設備制造商提供臭氧輸送系統。MKS臭氧輸送系統與立式爐、空間ALD工具和腔室沉積系統一起使用。每個臭氧輸送系統都有其特定的應用要求,與主要工藝工具的要求相一致,以確保很終用戶能夠沉積很高質量的薄膜或去除特定的原子層。


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